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別和规避规则衝突,否则版图根本无法製造。”
“第二,模型精度必须逼近物理极限。
我们需要原子级精度的器件模型,需要电-热-力多物理场耦合仿真平台。
模型失之毫釐,流片结果可能谬以千里!”
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