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上的电路图案,手指精准地控制着设备的每一个动作。
当第一片晶圆光刻完成,经过检测,电路图案的精度完全符合要求时,车间里爆发出一阵压抑的欢呼。
“成功了!光刻成功了!” 工程师们激动地互相拥抱。
程实脸上露出一丝疲惫但欣慰的笑容,说道:“好样的!接下来就是蚀刻和镀膜,大家继续加油,不能松懈。”
蚀刻车间里,等离子体蚀刻机正在高速运转。
程实站在旁边,看着蚀刻后的晶圆,通过电子显微镜仔细观察蚀刻的深度和均匀性。“深度刚好,均匀性也达标。”
他满意地点点头,“可以进行下一步镀膜了。”
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