和院长邓国辉的工作安排,但一天不研制成功6英寸晶圆和1制程工艺的光刻机,bec就不能为pgca提供五台6英寸晶圆和1制程工艺的光刻机,也不能扭亏为盈,不能成为上市公司,不能通过资本市场直接融资。
成立pgca时,合同中注明,引进的一条gca生产的6英寸晶圆、800n制程工艺的半导体生产线中,购买五台bec生产的6英寸晶圆和1制程工艺的光刻机。
半导体生产线中近四成的成本来自技术最复杂的光刻机。
一条6英寸晶圆、800n制程工艺的半导体生产线中一般需要20台左右的光刻机,为了节约成本和简化工艺,采用高低搭配,最下面的晶体管层,用6台左右6英寸晶圆和800n制程工艺的先进光刻机;上面做铜互连,用14台左右的6英寸晶圆和1制程工艺的光刻机代替。