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孙健当初听说汤普森保证在三年内研发成功极紫外光技术,就同意投入3000万美元巨资,也没有抱多大幻想,
即使花了3000万美元,三年内没有研发成功,相信gca的光刻机光源技术和制程工艺也会突飞勐进。
这些年,gca重回光刻机世界之巅,汤普森领导的ev研究团队功不可没。
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