为了不让人起疑,她还 “故意” 在原型设计中留了个小漏洞。初期陶瓷驱动电压不稳定,后来 “和团队一起” 调整了电压反馈电路才解决。
当晶圆台高速运转时,激光干涉仪显示振动值稳定在 003n,吴教授拍着她的肩膀感叹:“小白,你这思路,比我们钻了五年牛角尖的还通透!”
最后一个 “光刻胶分辨率” 难题,是最棘手的。传统光刻胶曝光后容易收缩,3n 电路总出现毛边。
白梦瑶想到星际光刻胶里的 “纳米晶须”,却换成了 l 国已有的 “碳纳米管”。
她提出:“在光刻胶里加表面改性的碳纳米管,能提升刚性,减少收缩。” 但碳纳米管容易团聚,她又 “借鉴” 星际材料处理工艺,提出 “等离子体接枝改性。”
接着她又提议:“用氧等离子体处理碳纳米管表面,增加和树脂的相容性。” 经过三十多次配方调整,新型光刻胶终于成功,3n 电路图案清晰,良品率从 10 飙升到 88。
当团队用改进后的光刻机,在晶圆上刻出完整的 3n 芯片电路时,距离白梦瑶加入课题刚满七个月。
吴教授拿着检测报告,在团队会议上反复说:“白梦瑶总能从我们忽略的角度找到突破口,这就是年轻科研者的创造力!”
没人会怀疑她,毕竟她的每一个方案,都能找到现有文献的理论支撑。
每一次调试都 “和团队一起” 解决问题,看起来就像个 “天赋异禀、善于思考” 的普通学霸。
转眼读研已经过去了一年,白梦瑶的研究生生涯已过半,她和吴教授团队研发的 3n 光刻机技术,早已成功落地投产。
l 国多家芯片企业用上了这项技术,彻底摆脱了对国外高端光刻机的依赖,相关成果还入选了年度 “国家重大科技突破”。
3n 光刻机研发成功的消息传到首都国防科技大学时,白蒹正在实验室调试新型雷达信号处理系统。
作为电子信息专业的尖子生,他不仅学业拔尖,还参与了学校与军工企业合作的 “智能通信终端” 项目。
这个项目需要一款超高精度的芯片,用来提升终端的信号传输效率,可市面上的芯片始终达不到要求。
“要是能有更精密的芯片就好了。” 白蒹对着屏幕上的信号波形叹气时,突然想起妹妹白梦瑶刚突破的 3n 光刻技术,眼睛瞬间亮了。
妹妹研发的技术,说不定能解决芯片精度问题!他当即拿起手机,给白梦瑶打了个视频电话。
屏幕那头,白梦瑶刚结束实验室的复盘会议,脸上还带着些许疲惫,一看到哥哥的脸就笑了:“哥,怎么突然打电话?是不是想妈妈做的菜了?”
“菜当然想,但这次有正事找你。” 白蒹把项目困境跟妹妹说明,“我们项目需要 3n 级别的专用芯片,你团队研发的光刻机,能不能支持这种定制芯片的生产?要是可以,我们说不定能促成学校和你们团队的合作。”
白梦瑶一听也来了兴趣,国防科大的项目涉及军工应用,对技术要求极高,刚好能检验 3n 光刻机的实战性能。“我得跟吴教授商量下,但初步看没问题。对了,你们项目负责芯片对接的是谁呀?”
“是我们系的苏喆衍学长,他比我高一届,现在是项目核心成员,不光精通芯片设计,还在量子通信领域拿过国家奖项,特别厉害。” 白蒹提起苏喆衍,满是敬佩。
他接着说:“要是合作成了,我介绍你们认识,你们俩都是搞高精尖技术的,肯定有共同话题。”
一周后,合作意向正式敲定。
白梦瑶跟着吴教授去国防科大开会,白蒹特意等白梦瑶出来后带她去国防科大的科研楼,到那里的时候,走廊尽头的实验室里,苏喆衍正对着投影屏上的芯片电路图皱眉。
屏幕上标注的 “28n 线宽误差” 红线,始终卡在合格线边缘。听到脚步声,他回头看来,眼神专注却不锐利,带着科研人特有的温和。
“喆衍学长,这是我妹妹白梦瑶,3n 光刻机研发的核心成员。” 白蒹快步上前,自然地打破沉默,“梦瑶,这位就是我们项目负责芯片设计的苏喆衍学长,他设计的量子通信芯片,去年还拿了军队科技进步奖。”
长相英俊的苏喆衍站起来居然有18米的身高,他朝着白梦瑶伸出手,掌心干燥温暖,两人象征性地握了一下手。
就递来的芯片设计图,上面密密麻麻的标注透着严谨:“白同学,久闻你的 3n 光刻技术突破。我们需要的这款军工芯片,不仅要控制 28n 线宽,还得在边缘电路加抗干扰屏蔽层,你们的光刻机在异形结构光刻上,精度能达标吗?”
白梦瑶接过图纸,看了一下,视线落在屏蔽层标注处,语速平稳却精准:“抗干扰屏蔽层可以用分步光刻 + 金属沉积工艺实现,线宽误差我们能压到 25n 以内,不过需要你们提供芯片的三维电磁场模拟数据,避免光刻时磁场干扰光源稳定性。”
她的回答没有多余铺垫,直接切中技术核心,让苏喆衍眼中闪过一丝认可。
他转身点开电脑里的模拟文件:“数据我已经整理好了,你看这个频段的磁场分布,会不会影响你们的 euv 光源?”
两人凑在屏幕前,一个指着磁场峰值区域分析影响,一个拿着笔在图纸上标注光刻调整方案,连白蒹都插不上话。
直到学校的放学下课铃响了,苏喆衍才回过神,看向白梦瑶的目光多了几分欣赏:“没想到你对军工芯片的特殊需求这么了解,我们之前对接过的几家团队,都没考虑到磁场干扰的问题。”
白梦瑶笑着收起图纸:“刚好在光刻机研发时做过类似的抗干扰测试。后续有技术问题,我们可以随时沟通。”