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第344章 那台趴窝的机器(1 / 2)

北京西郊。

地面上,这里是一座挂着“向阳精密纺织”牌子的废弃老厂房,红砖墙上爬满了枯萎的爬山虎,寒风吹过,发出萧瑟的沙沙声。大门口只有一个看门的老大爷,看起来毫不起眼。

但在厂房地下三十米深处,却是一个恒温、恒湿、防震等级达到核掩体级别的绝密空间。

代号:“深渊”。

这里没有白天黑夜,只有永远亮着的琥珀色黄光(光刻工艺对紫外线敏感,必须使用黄光照明)。

林向阳换上了全套的白色无尘服,经过三道风淋室,走进了核心实验区。空气中弥漫着一股臭氧和光刻胶混合的特殊味道,那是半导体工业特有的“硝烟味”。

“林董。”

一个略显佝偻的身影迎了上来。

这是一位头发花白的老人,眼窝深陷,满眼的红血丝,身上的白大褂领口已经磨破了边。大家都尊称他:朱教授。

与负责手机芯片设计的梁国栋那种硅谷精英范儿完全不同,朱教授是那种典型的“中科院扫地僧”。他曾在大国重器的精密机械领域隐姓埋名几十年,为了造出中国自己的光刻机,被林向阳“三顾茅庐”请出了山,担任向阳集团光刻机攻关组的总负责人。

“朱教授,辛苦了。”林向阳看着这位比半年前瘦了一圈的老人,心里有些发酸,“情况怎么样?”

“还是那只‘拦路虎’。”

朱教授指了指实验室中央那台被拆得面目全非的庞然大物。

那是一台二手的尼康s204b光刻机,是向阳集团花了三个亿从二手市场上淘回来的。但此刻,它原本精密的外壳已经被全部拆除,露出了里面错综复杂的液压管路、激光干涉仪和密密麻麻的线缆。

最核心的晶圆承载台位置,被朱教授团队改造成了两个并排的金属台,看起来像是一对钢铁双胞胎。

这就是向阳集团正在攻关的“双工件台”( scan)系统。

这也是目前光刻机领域最核心、最难啃的骨头。传统的单工件台,曝光和测量在同一个台子上,效率低;而双工件台,一个台子曝光,另一个台子同时进行测量预对准,效率翻倍。这是量产高端芯片的必经之路。

“我们的火种s1虽然卖得好,但那是台积电代工的。”林向阳看着那台机器,语气沉重,“科恩那些美国人笑话我们,说我们只会画图,不会造纸。这台机器,就是我们要造的‘纸’。”

“只要这台机器能动起来,我们就有底气。”林向阳拍了拍栏杆,“开始吧,朱教授。让我看看它到底卡在哪儿。”

“准备测试!”朱教授深吸一口气,对着对讲机下令。

实验室里的气氛瞬间紧绷。

十几名年轻的博士生迅速回到各自的控制台前。巨大的机械臂开始充能,发出低沉的嗡鸣声。

“双工件台同步测试,第142次。秒。同步精度要求:20纳米。”

随着指令下达,那两个沉重的金属工件台开始在磁悬浮导轨上滑动。

起初,它们像是在冰面上优雅滑行的舞者,一个负责曝光,一个负责测量。两个台子交替运动,速度越来越快,带起的风声在封闭的腔体内呼啸。

就在两个工件台准备进行高速位置交换的瞬间——

“嗡——咔!”

一声令人牙酸的金属摩擦声猛然炸响,紧接着是防撞系统启动的巨响。

“砰!”

整个基座剧烈震动了一下,警报红灯疯狂闪烁。

“紧急制动!紧急制动!”朱教授大吼着扑向急停按钮。

机器停了下来。

两个工件台死死地卡在导轨中间,只差几毫米就撞在一起。那昂贵的超平滑镜面导轨上,被划出了一道触目惊心的划痕。

“失败了。”

操作台前的博士生摘下耳机,绝望地抱着头,“同步误差5微米。在这个速度下,5微米就是一场车祸。”

5微米。

对于普通人来说,那是头发丝直径的十分之一,肉眼根本看不见。但在光刻机的世界里,这是马里亚纳海沟一样的差距。

朱教授死死盯着屏幕上那条红色的误差曲线,身体开始剧烈颤抖。

“为什么……为什么还是对不上?”

他喃喃自语,声音沙哑得像是在泣血,“算法改了,电机换了,连地基的减震弹簧都换成了核潜艇用的。为什么还是瞎?”

突然,朱教授身子晃了晃,向后倒去。

“朱老!”

林向阳眼疾手快,一把扶住了这位六十多岁的老人。

朱教授的脸色惨白如纸,嘴唇哆嗦着,干枯的手紧紧抓着林向阳的手臂,指甲几乎陷进肉里。

“林董……不是电机的问题,也不是算法的问题……”朱教授喘着粗气,眼神中透着一种深深的无力感,“是眼睛……是眼睛瞎了啊!”

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医护人员迅速冲进来,给朱教授吸氧、测血压。

半晌,朱教授缓过一口气,推开氧气面罩,浑浊的泪水顺着眼角流了下来。

“我们的光栅尺不行。”

朱教授指着机器内部那几根看似不起眼的玻璃尺,“我们用的国产光栅尺,标称精度是10纳米,但在高速运动下,热膨胀和信号漂移太严重了。机器以为自己跑了1米,实际上它跑了1000005米。这5微米的误差,就是瞎子在悬崖边跑步,必死无疑。”

林向阳沉默了。

他看着那台趴窝的机器,终于明白了问题的症结。

这就像是给一辆f1赛车装了一个近视眼的司机。无论引擎动力多强,无论方向盘控制多精准,只要司机看不清赛道,结果只能是撞墙。

制造光刻机,不仅仅是把零件组装起来,它考

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