?”林向阳问。
多重曝光,这是在无法获得euv光刻机的情况下,想要突破先进制程的唯一血路。
它的原理极其折磨人:既然单次曝光的线条太粗,那就把电路图拆解开。先画第一层线条,刻蚀,然后再回过头,精准地在缝隙里画第二层。
“问题出在对准精度上。”
王博指着大屏幕上的红区,“我们在45n的机器上,要求第二次曝光的偏差不能超过2个纳米。可现实是,厂房的任何一丝轻微震动、甚至是由于由于水冷泵运行产生的微米级抖动,都会让第二次落笔‘画歪’。只要歪一点,两层电路就会短路,整片晶圆就会变成一坨毫无价值的废硅。”
“物理精度不够,就用算法来补。”
林向阳坐到了主控制台前,双手快速敲击,调出了向阳云的实时算力接口。
“朱老,老王,你们一直在尝试用纯机械的思维去对抗误差,这在国产精密加工底子薄弱的情况下,是死胡同。”
林向阳的眼神中闪烁着某种名为“暴力美学”的光芒:
“我们要用‘实时动态补偿’。利用我们现在手里掌握的、由几千万台‘燎原’手机和几万台盘古s4矿机回馈的庞大冗余算力,给‘盘古1号’加装一个‘数字大脑’。”
“既然机械臂会抖,那我们就用数千个传感器去实时监测它的频率。让向阳云的模型在微秒级的时间内预判它下一刻的偏移方向,然后——控制激光束在落笔的那一瞬间,反向修正这个偏差!”
“它往左晃,我们的激光就往右扫!它抖动一纳米,我们就补偿一纳米!”
林向阳指着白板上的逻辑图:
“我们要用全世界最奢侈的算力,去弥补国产精密机床在物理精度上的先天发育不良。这就叫‘以算力换精度’。”
王博和朱教授对视一眼,原本死寂的眼中,瞬间被点燃了狂热的火花。
“这……这是疯子的玩法。”王博喃喃自语,但手已经摸向了键盘,“但这确实是只有向阳集团能玩的‘钞能力’。既然咱们有取之不尽的算力和电费,咱们就用暴力计算,硬生生把这台‘破烂’光刻机,逼成世界级的精密仪器!”
在这种近乎疯狂的软硬件协同下,向阳集团开始了对28纳米制程发起的最惨烈、也是最决绝的冲锋。
……
温哥华。
林安然走在ubc校园幽深的小径上。
她感觉到身后那两道若有若无的目光依然存在——那是美方fbi派来的监视者。但在两百米开外,另一队开着印有“向阳物流”标识货车的男子,正大摇大摆地在路口巡逻。
这种无声的对峙,已经持续了一个月。
林安然戴着耳机,耳边传来了哥哥林向阳那虽然疲惫、却透着一股“谁也拦不住我”的傲气的留言:
“安然,放心学习。45n的血已经补足了。接下来,哥要亲手搭起通向山顶的天梯。”
林安然停下脚步,抬头看着温哥华湛蓝的天空。她在那张写满了病毒重组序列的实验报告背后,悄悄地画了一座塔。
一座即使在阴影中,也正在努力刺破云霄的塔。
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