b光源是连续的、高频的。为了配合这种光,晶圆台的移动速度必须极快,才能保证曝光均匀。
“速度太快,震动压不住啊!”
朱教授盯着干涉仪的数据,“晶圆台一秒钟移动500毫米,急停的时候会有微米级的余震。对于7n工艺来说,这就像是八级地震。套刻误差直接爆表了。”
“asl是怎么解决的?”旁边的年轻工程师问。
“asl用的是德国蔡司的原子级反射镜和磁悬浮台,我们现在的供应链全断了,造不出来那么精密的。”朱教授咬着牙,“我们只能用土办法。”
“什么土办法?”
“以快制快,动态补偿。”
朱教授看向一直在旁边敲代码的王博。
“王博,你的‘夸父os’能控制电子束,能不能控制我的工件台?”
“你的意思是……”王博抬头,推了推那副快要滑下来的眼镜。
“我在工件台上装了压电陶瓷传感器。震动波传导需要时间。只要你的算法够快,能不能在震动发生的前一毫秒,给电机一个反向的力,把它抵消掉?”
“主动降噪耳机的原理?”王博秒懂。
“对!给台子戴个降噪耳机!”
“能搞!”王博眼中精光一闪,“我的蜂群算法连光速跑的电子都能按住,还按不住这块铁板?只要把控制频率拉到100khz,我就能按住这头疯牛!”
……
2019年2月4日。除夕夜。
地表之上,平塘县的村寨里已经响起了稀疏的鞭炮声。大红灯笼挂了起来,年味儿正浓。
但在地下400米,气氛凝重得几乎要爆炸。
这是最后一次尝试。
如果今晚拿不出合格的芯片,林向阳就没有底气在年后应对罗伯特的全面绞杀。
“光刻胶涂布完毕。配方:陈氏108号。” “eda布线检查:通过。” “工件台主动抑震系统:开启。” “光源功率:1000瓦(锁定)。”
林向阳站在总控台前,手里拿着一部刚刚组装好的“火种7”工程机——它虽然做工精良,但里面是空的,因为它缺了一颗芯。
他把手机放在桌上,目光如炬。
“开始。”
滋——滋——滋——
这一次,光刻室里没有传来焦糊味。
在高速相机的监控下,那束强悍的euv光,像是一把精准的手术刀,快速而凌厉地扫过晶圆表面。
陈志平的“108号配方”经受住了考验。它没有燃烧,而是瞬间完成了光化学反应,将掩膜版上的电路图,完美地“复印”在了硅片上。
而朱教授的工件台,在王博算法的加持下,稳如泰山。每一次急停,反向力矩都会精准地抹平震动,就像一位武林高手在化解千钧之力。
五分钟后。
“曝光完成!送入刻蚀机!”
又过了半小时。
“清洗完成!去胶完成!”
当机械臂托举着那片12英寸晶圆从传送口缓缓伸出时,所有人都屏住了呼吸。
在显微镜的高倍镜头下。
原本光洁的硅片表面,此刻布满了比迷宫还要复杂一万倍的电路纹路。
那是68亿个晶体管。 那是人类智慧的结晶。 那是7n的物理极限。
“上探针台!测良率!”梁国栋的声音都在发颤。
滴——
测试仪的屏幕上,晶圆图谱开始刷新。无数个绿色的小方块开始亮起。
每一个绿点,代表一颗功能完好的芯片。
最终,数字定格。
“哇!!!”
梁国栋爆发出一声撕心裂肺的哭喊,整个人瘫软在地上。
“成了!九成良率!比台积电早期还要高!”
“我们做出来了!我们用国产的光刻胶、国产的eda、山洞里的光,做出来了!”
地下大厅瞬间变成了欢乐的海洋。
朱教授摘下眼镜抹眼泪,陈志平把安全帽扔向空中,王博抱着电脑傻笑。
林安然走到林向阳身边,递给他一片刚刚切割下来的芯片。
那是一颗指甲盖大小的黑色方块。 上面用激光蚀刻着一行微小的字:
pangu s8 ade guizhou, cha
林向阳捏着这颗芯片。它还带着余温,烫得人心头发热。
“美国封锁了eda,我们自己写了。” “美国封锁了光刻胶,我们自己调了。” “美国封锁了台积电,我们自己造了厂。”
林向阳看着芯片,轻声说道:
“这不是一颗石头。这是一块砖。一块用来砸碎他们玻璃窗的砖。”
他拿出手机。此时正是大年初一的零点。
全中国的电视机里都在播放春节联欢晚会,欢声笑语一片。彼岸,罗伯特·莱特正在等待着向阳集团破产的消息。
“清河。”林向阳拨通了电话。
“在。”苏清河的声音有些紧张。
“发公告吧。”
“内容呢?”
“一张图,一句话。”
……
五分钟后。
向阳集团的官方微博、推特、facebook同时更新了一条动态。
没有长篇大论的辩解,没有悲情的诉苦。
只有一张黑底红字的海报。
海报中央,是一束刺破黑暗的、耀眼的翠绿色光束。光束的尽头,悬浮着一颗芯片。
配文只有一行字:
【听说有人想把我们关在黑屋子里?不好意思,我们自带了手电筒。】 【2019215,向阳集团春季发布会。盘古s8,如约而至。】
轰——!
这条微博发出的一瞬间,整个互联网炸锅了。
还在过年的中国网民们沸腾